Der Standard für Vakuumdichtheitsprüfungen in der industriellen Vakuum- und Halbleiterfertigung
Die INFICON UL1000 Helium-Lecksucher-Serie ist der renommierte Standard, wenn es um wirtschaftliche Helium-Vakuum-Lecktests in industriellen Umgebungen (UL1000 mit ölgedichteten Vorvakuumpumpen) oder in der Halbleiterindustrie (UL1000 Fab mit trocken verdichtenden Vorvakuumpumpen) geht.
Die UL1000-Serie bietet den besten Kompromiss zwischen hoher Leistung, unvergleichlicher Robustheit und Erschwinglichkeit. Sie liefert hochmoderne Nachweisgrenzen von 10-12 mbar*l/s in Kombination mit einer vernünftig kurzen Abpump- und Ansprechzeit. Das kompakte Design gewährleistet eine hohe Manövrierfähigkeit und erleichtert den Zugang zu Wartungsbereichen mit eingeschränktem Platzangebot. Die wählbare Hintergrundunterdrückung (iZERO) ermöglicht kontinuierliche Lecktests, die mindestens zwei Dekaden unter den bestehenden Hintergrundwerten liegen.
Diese Merkmale verkürzen insgesamt die Dauer Ihres Lecktestprozesses und stellen sicher, dass alle Lecks effizient und wirtschaftlich erkannt werden.
Mit dem TC1000 Testkammer-Zubehör bietet die UL1000 Helium-Lecksucher-Serie eine einfache, schnelle und genaue Prüfung hermetisch abgedichteter Teile wie IC-Gehäuse, Quarzkristalle und Laserdioden (gemäß MIL-STD 883, Methode 1014).
Optimierte Lecksuche mit SMART-Spray, I·BOOST und SPRAY-Check
SMART-Spray Helium-Sprühpistole optimiert die Lecksuche, da keine großen Heliumflaschen und unhandlichen Schläuche mehr benötigt werden. Es rationalisiert den Prozess, reduziert manuelle Heliumflusseinstellungen und minimiert Fehler. Mit diesem Gerät wird die Lecksuche schneller, einfacher und zuverlässiger, während der Heliumverbrauch und die Hintergrundwerte niedrig bleiben.
I·BOOST ist ideal für effiziente und präzise Leckprüfungen und bietet eine Zeitersparnis von bis zu 50 % bei der Lecksuche. Mit kürzeren Reaktionszeiten liefert es schnelle und präzise Messungen über verschiedene Kammervolumina hinweg und verbessert so die Effizienz und Genauigkeit. Darüber hinaus gewährleistet SPRAY-Check, ein Sprühleck, die Funktionalität und Bereitschaft Ihres Lecksuchgeräts. Es ist ideal für den Bereich von 10-⁹ bis 10-⁸ mbar∙l/s und bietet zuverlässige Kontrollen während der Prüfprozesse.